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Department Werkstoffwissenschaft

Newsarchiv

16.09.2015

Licentiatsarbeit Marlene Mühlbacher

Frau Marlene Mühlbacher hat im Rahmen einer Kooperation des Departments Metallkunde und Werkstoffprüfung mit der Thin Film Physics Division an der Universität Linköping in Schweden ihre Licentiatsarbeit mit dem Titel „High-resolution characterization of TiN diffusion barrier layers” verfasst und erfolgreich verteidigt. Beim Licentiat handelt es sich um eine in Skandinavien übliche Zwischenstufe zwischen Diplomprüfung und Doktorat. In ihrer Arbeit beschäftigte sich Frau Mühlbacher mit der Charakterisierung von Diffusionsmechanismen im Cu/TiN Schichtsystem, dass in vielen mikroelektronischen Anwendungen eine wichtige Rolle spielt. Die Licentiatsarbeit umfasst neben einer Einleitung zum Thema sowie der Beschreibung der Untersuchungsverfahren (Transmissionselektronenmikroskopie sowie Atomsondentomographie) auch zwei Artikel, die in internationalen referierten Journalen publiziert wurden. Frau Mühlbacher wird nun mit Ende des Jahres ihre Doktorarbeit am Department Metallkunde und Werkstoffprüfung abschließen.