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Department Materials Science

Newsarchiv

05/20/2014

IOP LabTalk: "An exploration of the rich plasma physics of sputtering magnetrons"

Eine aktuelle Arbeit, die sich mit den Eigenschaften der Sputterplasmen
von Magnetrons befasst und an der Robert Franz vom Lehrstuhl für
Funktionale Werkstoffe und Werkstoffsysteme beteiligt war, wurde für die
Rubrik "IOP LabTalk" des Journals "Plasma Sources Science and
Technology" ausgewählt: "An exploration of the rich plasma physics of
sputtering magnetrons"
Mit diesen kurzen "LabTalk"-Artikeln, in denen aktuelle Forschungsarbeiten
vorgestellt werden, will das Institute of Physics (IOP) ein größeres und
allgemeines Publikum ansprechen. Die zugrundeliegende Arbeit, die im
Journal veröffentlicht wurde, trägt den Titel: "Asymmetric particle
fluxes from drifting ionization zones in sputtering magnetrons".