Exzellenzstipendium der Kärntner Industriellenvereinigung an Marlene Mühlbacher

Marlene Mühlbacher, Dissertantin am Lehrstuhl für Funktionale Werkstoffe und Werkstoffsysteme in einem strategischen Projekt des Materials Center Leoben, ist mit einem Exzellenzstipendium der Kärntner Industriellenvereinigung ausgezeichnet worden. Frau Mühlbacher beschäftigt sich in ihrer Doktorarbeit mit der Untersuchung von Diffusionsmechanismen in Barriereschichten für die Mikroelektronik. Die Aufgabe derartiger Barriereschichten ist es, die schädliche Diffusion von Kupfer aus Leiterbahnen in die Halbleiterstrukturen zu verhindern. Frau Mühlbacher wendet zur Verbesserung des Verständnisses der Diffusionsphänomene hochauflösende Methoden wie dreidimensionale Atomsondentomographie und Transmissionselektronenmikroskopie an. Ihre im Lauf der Doktorarbeit gewonnenen Erkenntnisse stellen die Basis für die Entwicklung effizienterer Barriereschichten dar und werden wesentlich zur weiteren Miniaturisierung von Halbleiter-Bauelementen beitragen. Frau Mühlbacher wird mit dem Stipendium einen Forschungsaufenthalt an der University of Linköping in Schweden finanzieren, wo sie mit dem derzeit leistungsfähigsten hochauflösenden Transmissionselektronemikroskop Europas zum weiteren Verständnis der Diffusionsphänomene beitragen wird.