Marlene Mühlbacher, ehemalige Dissertantin am Lehrstuhl für Funktionale Werkstoffe und Werkstoffsysteme in einem strategischen Projekt des Materials Center Leoben, ist bei der vom 25.-29. April 2016 in San Diego, Kalifornien, stattfindenden International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films für ihre Arbeit "Diffusion studies in the TiN/Cu bilayer system and beyond" mit dem Graduate Student Award in Gold ausgezeichnet worden. Frau Mühlbacher beschäftigte sich in ihrer in Kooperation mit der University of Linköping, Schwden, durchgeführten und im November 2016 abgeschlossenen Doktorarbeit mit der Untersuchung von Diffusionsmechanismen in Barriereschichten für die Mikroelektronik. Die Aufgabe derartiger Barriereschichten ist es, die schädliche Diffusion von Kupfer aus Leiterbahnen in die Halbleiterstrukturen zu verhindern. Frau Mühlbacher wendete zur Verbesserung des Verständnisses der Diffusionsphänomene hochauflösende Methoden wie dreidimensionale Atomsondentomographie und Transmissionselektronenmikroskopie an. Ihre im Lauf der Doktorarbeit gewonnenen Erkenntnisse stellen die Basis für die Entwicklung effizienterer Barriereschichten dar und werden wesentlich zur weiteren Miniaturisierung von Halbleiter-Bauelementen beitragen.
Wir gratulieren herzlich zu dieser Auszeichnung!
