Anfang Oktober wurde am Lehrstuhl für Funktionale Werkstoffe und Werkstoffsysteme mit Beteiligung des Lehrstuhls für Struktur- und Funktionskeramik eines neues konfokales 3D Laserscanning Mikroskop der Firma Keyence installiert. Das neue Mikroskop erweitert die Möglichkeiten zur Charakterisierung von Oberflächen, indem es die Aufnahme und Analyse von dreidimensionalen Oberflächentopographien ermöglicht. Eingesetzt wird es unter anderem zur Analyse mechanisch beanspruchter Oberflächen, zur Vermessung drei dimensionaler Strukturen der Mikro- und Nanoelektronik, zur Bestimmung der Dicke lichtdichter und transparenter Schichten sowie zur Bestimmung von Oberflächenrauigkeiten.
