Vor kurzem wurde am Lehrstuhl für Materialphysik ein Nanoscribe Quantum X-System installiert.
Bei diesem additiven Fertigungswerkzeug handelt es sich um das weltweit erste Zwei-Photonen-Graustufen-Lithografie System (2GL®), das die direkte Herstellung komplexer Mikrostrukturen mit Nanometerauflösung durch Multiphotonen-Polymerisation ermöglicht. Ob für mikromechanische, mikrooptische, photonische oder biomedizinische Geräte, diese Methode liefert ultraglatte Oberflächen, freie geometrische Formgebung und einen produktionsfähigen Durchsatz mit einer lateralen Auflösung von unter 200 nm und einer vertikalen Auflösung von 100 nm bei einer maximalen Arbeitsfläche von 50 × 50 mm2. Die druckfertigen Kunststoffe reichen von biokompatiblen und hochflexiblen (silikonähnlichen) bis hin zu harten und steifen (acrylatähnlichen) Polymeren und bieten eine Reihe von Brechungsindizes für maßgeschneiderte optische Eigenschaften, wobei zusätzlich die Möglichkeit besteht, selbst formulierte Polymerlösungen zu verwenden.
Hochmodernes Multiphotonen-Lithographie System
