Werkstoffcharakterisierung

Abschreck- und Umformdilatometer

Zur Bestimmung von Phasenumwandlungen unter industrierelevanten Aufheiz- und Abkühlbedingungen eignet sich ein sogenanntes Abschreckdilatometer. Am Department stehen drei Geräte (TA Instruments DIL805 A/D/T und DIL805 A) zur Verfügung. Ersteres ist mit einer Zug-/Druckumformeinheit ausgestattet, welche zur Ermittlung des Verformungsverhaltens von Werkstoffen dient. Die Probe wird induktiv über eine wassergekühlte doppelwandige Spule erhitzt und mittels Gas kontrolliert abgekühlt. Dabei wird die Längenänderung als Funktion der Zeit bzw. Temperatur oder des Umformgrades aufgezeichnet. Daraus können beispielsweise kontinuierliche und isotherme Zeit-Temperatur-Umwandlungsschaubilder (ZTU) sowie Umform-Zeit-Temperatur-Umwandlungsschaubilder (UZTU) erstellt werden.  

Hauptanwendungen: Bestimmung von thermischen Ausdehnungskoeffizienten, Kinetik von Phasenumwandlungen, Erstellung von ZTU-, ZTA- und UZTU-Schaubildern, Erstellung von Fließkurven, Simulation von Wärmebehandlungen und Umformprozessen

 

Technische Daten Abschreckdilatometer:

  • Temperaturbereich: 20°C - 1500°C, Tieftemperatur -200°C bis 1100°C
  • Heizsystem: induktiv
  • Atmosphäre: Stickstoff, Helium, Vakuum, Luft
  • Aufheizgeschwindigkeit: max. 4000 K/s
  • Abkühlgeschwindigkeit: max. 2500 K/s
  • Auflösung: 50 nm, 0,05°C
  • Probengeometrie: Rundproben 10 mm Länge, Durchmesser 3-5 mm, Tieftemperatur nur mit Hohlproben Durchmesser 4-5 mm

 

Technische Daten Umformdilatometer:

  • Temperaturbereich: 20°C - 1500°C
  • Heizsystem: induktiv
  • Atmosphäre: Stickstoff, Helium, Vakuum, Luft
  • Aufheizgeschwindigkeit: max. 100 K/s
  • Abkühlgeschwindigkeit: max. 100 K/s
  • Auflösung: 50 nm, 0,05°C
  • Probengeometrie: Rundproben 10mm Länge, Durchmesser 3-5mm, Rund- und Flachzugproben
  • Umformgeschwindigkeit: Druck: 0,001 bis 20 s-1, Zug: 0,001 bis 1 s-1
  • Umformgrad: 0,01 bis 1,2
  • Druckkraft: max. 20 kN
  • Zugkraft: max. 10 kN

Atomsonden-Tomographie

Zur Charakterisierung von Materialien mit nahezu atomarer Auflösung eignet sich insbesondere die Atomsondentomographie. Für derartige Untersuchungen stehen eine Atomsonde vom Typ LEAP 5000 XR, sowie eine LEAP 3000X HR von Cameca Inc. zur Verfügung.

Bei der Atomsonden-Tomographie wird an eine Spitze mit einem Spitzenradius von 20-50 nm eine Gleichspannung von einigen Kilovolt (5-15 kV) angelegt. Durch einen überlagerten Spannungs- oder Laserimpuls werden Atome von der Oberfläche durch den Effekt der Feldverdampfung abgetragen und auf einen positionssensitiven Detektor beschleunigt. Dabei werden die Flugzeit sowie die Koordinaten der Auftreffpunkte aufgezeichnet, wodurch eine 3D-Rückkonstruktion der abgetragenen Spitze mit Informationen zur lokalen chemischen Zusammensetzung ermöglicht wird. Nahezu alle Elemente des Periodensystems können von einer Atomsonde detektiert werden. Durch die Verwendung eines Laserimpulses können auch Materialien mit schlechter elektrischer Leitfähigkeit untersucht werden. Vor allem der UV Laser (Wellenlänge: 355 nm) der neueren LEAP 5000 XR ermöglicht auch Untersuchungen an hochkomplexen Werkstoffen sowie an keramischen und geologischen Materialien.

Hauptanwendungen: Ausscheidungsreaktionen, Korngrenzensegregationen, Cluster-Bildung, multifunktionale dünne Schichten

 

Technische Daten:

LEAP 5000 XR:

  • Temperaturbereich: 20K bis 100K
  • Bildgas: Neon, Helium, Argon
  • Field of View: > 150 nm
  • Massenauflösung: FWHM > 1100
  • Laser: UV (Wellenlänge: 355 nm)

 

LEAP 3000x HR:

  • Temperaturbereich: 20K bis 120K
  • Bildgas: Neon, Helium
  • Field of View: < 200 nm
  • Massenauflösung: FWHM 1100
  • Laser: Grün (Wellenlänge: 532 nm)

Differentialthermoanalyse (DSC) und Thermogravimetrie

Für eine effiziente Bestimmung von Phasenumwandlungstemperaturen eignen sich vor allem dynamische Methoden. Für diese Art von Messungen stehen zwei thermische Analyseeinheiten (Setaram Setsys Evo 2400 und Setaram Labys) am Department zur Verfügung. Bei beiden Geräten handelt es sich um Kombinationen eines dynamischen Differenzkalorimeters und eines Thermogravimeters. Bei der dynamischen Differenzkalorimetrie (differential scanning calorimetry, DSC) werden Proben mit bekannter Masse und dazu abgestimmte Referenzproben einem definierten Temperaturprogramm ausgesetzt. Auf Grund der Wärmeenergie, die bei Umwandlungen in der Probe freigesetzt oder verbraucht wird, entstehen Wärmestromdifferenzen zwischen Probe und Referenz, die aufgezeichnet werden. Dadurch können Temperaturbereiche und die Kinetik von Phasenumwandlungen sowie Reaktionsenthalpien und spezifische Wärmekapazitäten bestimmt werden. Bei der Thermogravimetrie werden zusätzlich Masseänderungen detektiert. Somit lassen sich beispielsweise Oxidationsvorgänge oder Zersetzungsreaktionen verfolgen.

 

Technische Daten:

Setsys Evo 2400:

  • Messprinzip: dynamische Wärmestromdifferenzkaloriemetrie
  • Temperaturbereich: RT bis 1600°C/ nach Umbau 2400°C
  •  Heiz- und Kühlrate: 0,01 K/min - 100 K/min
  • Atmosphäre: Argon, Helium, Synthetische Luft, Vakuum
  • Auflösung: 0,4 µW
  • Auflösung Waage: +-200 mg 0,3 µg, +-20 mg 0.03 µg

 

LabSys:

  • Messprinzip: dynamische Wärmestromdifferenzkaloriemetrie
  • Temperaturbereich: RT bis 1600°C
  • Heiz- und Kühlrate: 0,01 K/min - 100 K/min
  • Atmosphäre: Argon, Helium, Synthetische Luft, Vakuum
  • Auflösung: 0,4 µW
  • Auflösung Waage: +-1000 mg 0,2 µg, +-200 mg 0.02 µg

Focused Ion Beam

Die ortsspezifische Probenpräparation für die Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) und die Atomsonden-Tomographie (APT) erfordert spezielle Präparationsmethoden. Am Department stehen hierfür das DualBeam Focused Ion Beam Gerät Versa 3D der Fa. FEI zur Verfügung. Dieses Mikroskop verfügt sowohl über einen fokusierten Ionenstrahl  (FIB) als auch über einen Elektronenstrahl (REM). Diese Dualität bietet die Möglichkeit der Querschnittsdarstellung während mittels dem Ionenstrahl die Probe mechanisch herausgearbeitet wird. Des Weiteren ist dieses Gerät mit einem energiedispersiven Röntgenspektrometer (EDX) und einem Elektron-Back-Scatter-Detektor (EBSD) ausgestattet. Mit Hilfe des EDX-Systems kann die chemische Zusammensetzung des untersuchten Probenbereiches bestimmt werden und der EBSD Detektor ermöglicht die  Bestimmung von Kristallorientierungen.  

Hauptanwendungen sind: Probenpräparation für TEM und APT, Texturanalyse  
 

Technische Daten:  

  • Elektronenstrahl: Feldemissionsemitter (optimiert für hohe Helligkeit / hohen Strom)
  • Beschleunigungsspannung Elektronenstrahl: 200V – 30kV
  • Ionenstrahl: Hochstrom Ionenstrahl mit Ga Flüssig-Metallionenquelle
  • Beschleunigungsspannung Ionenstrahl: 0,5 – 30kV
  • Detektoren: SE, SI, BSE, STEM
  • Gas Injektion System (GIS): Platin
  • Mikromanipulator Omniprobe 100.7

Hochtemperatur-Laserkonfokalmikroskop

Für in-situ Beobachtungen von Gefügeumwandlungen steht am Department ein Hochtemperatur-Laserkonfokalmikroskop vom Type Yonekura VL2000DX-SVF17SP zur Verfügung. In der Hochtemperaturkammer, welche nach dem Spiegelofenprinzip funktioniert, wird die Probe mittels einer Halogenlampe einer vorprogrammierten Wärmebehandlung unterzogen. Es können beliebige Wärmebehandlungen bis zu einer Kurzzeittemperatur von 1800°C unter Argonatmosphäre durchgeführt werden.

Die Mikrostrukturstruktur wird dabei durch thermisches Ätzen sichtbar. Ein Laserstrahl tastet die Probenoberflache ab, wird reflektiert und von einem lichtempfindlichen Detektor erfasst. Es werden eine voreingestellte Anzahl von Einzelbildern, sowie ein Echtzeitvideo erstellt. Das Gerät dient der Dokumentation und dem besseren Verständnis von Gefügeumwandlungen während Heiz- und Abkühlprozessen. Vorgänge wie Gefügeveränderung, Kornvergröberung oder Ausscheidungsprozesse können in Echtzeit mitverfolgt werden.

 

Technische Daten:  

  • Temperaturbereich: 20°C - 1800°C (Dauertemperatur 1700°C)
  • Heizsystem: Spiegelofenprinzip mit 1,5 kW Halogenlampe
  • Atmosphäre: Argon
  • Aufheiz- und Abkühlgeschwindigkeit: max. 6000 K/s (sinnvoll bis ca. 1000 K/min mit Helium als Abschreckgas)
  • Maximale Auflösung: 0,14 µm
  • Bildfrequenz: 1 bis 15 Hz
  • Probengeometrie: Standardzylinderprobe Durchmesser 5mm, Probenhöhe 1mm, mit 3µm Suspension poliert, ungeätzt

Ionenstrahlpoliergerät Hitachi IM5000

Im Juni 2020 wurde ein Hitachi Ionenstrahlpoliergerät am Department Werkstoffwissenschaft installiert.

Das Gerät wurde zusammen mit dem Lehrstuhl für Erdölgeologie finanziert und wird auch gemeinsam genutzt.

Ionenstrahlpoliergeräte dienen zur Präparierung von Oberflächen (sog. Flat Milling) und Querschnitten (sog. Cross-section Milling) für das Rasterelektronenmikroskop (REM).

Durch den Einsatz eines Ar-Ionenstrahls können Oberflächen nahezu artefaktfrei präpariert werden.

Die durch eine mechanische Präparation verursachte Deformation der Oberfläche wird durch den Ionenstrahl vollständig entfernt. Dies führt z.B. zu erheblich besserer Pattern-Qualität bei EBSD Messungen im REM.

 

Technische Daten:

  • Ar Ionenkanone, max. 8KV Beschleunigungsspannung
  • Max. Millingrate >1mm/hr bei Si
  • Cross-section und Flat Milling Probenhalter
  • Max. Probengrösse 20mm (Cross-section), 50mm ( Flat Milling)

Konfokales 3D Laserscanning Mikroskop

Das Mikroskop wird für die Charakterisierung von Oberflächen eingesetzt, in dem 3-dimensionale Oberflächentopographien aufgenommen und analysiert werden. Hierbei scannt der Laserstrahl die Oberfläche in x-y-Richtung, während das Objektiv den Fokuspunkt schrittweise in z-Richtung verändert. Eingesetzt wird das Mikroskop unter anderem zur Analyse mechanisch beanspruchter Oberflächen, z.B. nach einem tribologischen Test, zur Vermessung 3-dimensionaler Strukturen in der Mikro- und Nanoelektronik, zur Bestimmung der Dicke lichtdichter und transparenter Schichten sowie zur Bestimmung von Oberflächenrauigkeiten.

 

Technische Daten:

  • Gerät: Keyence VK-X1100
  • Wellenlänge Laser: 404 nm
  • Objektive: 5x, 10x, 20x, 50x und 150x
  • Probentisch: 100 mm x 100 mm

Laserablationsanlage microPREP™ PRO FEMTO

Unsere Laserablationsanlage, die microPREP™ PRO FEMTO, bietet eine revolutionäre Lösung für präzise Materialbearbeitung und Probenvorbereitung. Mit einem hochmodernen Femtosekundenlaser ermöglicht sie Materialentfernungen mit Mikrometer-Genauigkeit und reduziert dabei thermische Beeinflussungen des Materials auf ein Minimum. Sie ermöglicht die schnelle und einfache Fertigung von Probenstrukturen wie Microtip arrays [1] und Half grids [2] direkt aus dem Material und erlaubt damit bahnbrechende Fortschritte in der korrelativen Mikroskopie [3]

Microtip arrays sind Coupons mit 15 Spitzen (Radius <30 µm). Diese können in wenigen Arbeitsschritten mittels Focused Ion Beam (FIB)  für die Atomsondentomographie (APT) finalisiert werden. Durch den Verzicht auf aufwändige Lift-out-Verfahren reduziert die Anlage den Aufwand und verbessert die Zuverlässigkeit der Probenpräparation. Halbkreisförmige Half grids hingegen erlauben die gleichzeitige Anwendung von APT und Transelektronenmikroskopie (TEM) auf exakt derselben Stelle, was die korrelative Mikroskopie erheblich vereinfacht. Durch die Kombination von Femtosekundenlaser und Elektronenrückstreubeugung (EBSD) können site-specific Features, wie z.B. Korngrenzen, präzise präpariert  werden. Diese Fähigkeiten machen die Anlage zu einer unverzichtbaren Technologie für cutting-edge Materialforschung [3].

Die Highlights

  • Hochpräzise Bearbeitung durch Femtosekundenlaser
  • Flexibilität für Probenstrukturen und Materialtypen
  • Optimiert für fortschrittlichste Forschungsanforderungen

 

Technische Daten

  • Wellenlänge: 515 nm
  • Pulsdauer: 230 fs
  • Maximale Leistung: 2.5 W
  • Frequenz: 60 – 1000 kHz
  • Laserspotdurchmesser: <10 µm
  • X-Y Probenhalter und Rotationsprobenhalter

 

[1] M. Tkadletz, H. Waldl, M. Schiester, A. Lechner, G. Schusser, M. Krause, N. Schalk, Efficient preparation of microtip arrays for atom probe tomography using fs-laser processing, Ultramicroscopy 246 (2023). doi.org/10.1016/j.ultramic.2022.113672.

[2] M. Tkadletz, M. Schiester, H. Waldl, G. Schusser, M. Krause, N. Schalk, fs-laser preparation of half grid specimens for atom probe tomography and transmission electron microscopy, Mater Today Commun 39 (2024). doi.org/10.1016/j.mtcomm.2024.108672.

[3] J. Tang, O. Renk, M. Tkadletz, Site-specific femtosecond laser ablation: The pathway to high-throughput atom probe tomography characterization, Mater Charact (2024) 114618. doi.org/10.1016/j.matchar.2024.114618.

 

Raman-Spektroskopie

Die Raman-Spektroskopie kann für die Charakterisierung von chemischen Bindungen, Phasenumwandlungen oder Oxidationsprozessen von Konstruktions- und Funktionswerkstoffen eingesetzt werden. Der zugrundeliegende Raman-Effekt basiert auf der inelastischen Streuung des Laserlichtes an in der Probe vorhandenen Molekülen. Damit können die chemischen Fingerabdrücke der Probe sowohl lateral als auch tiefenaufgelöst charakterisiert werden. Die Methode kann für eine Vielzahl von Werkstoffklassen angewendet werden, wie etwa für Keramiken, Polymere und Halbleiter. Mit Hilfe einer zusätzlichen Heizkammer kann das Werkstoffverhalten in-situ bis zu einer Temperatur von 1500°C untersucht werden.

 

Technische Daten:

  • Gerät: Witec alpha300 R
  • Wellenlänge Laser: 532 nm
  • Laterale Auflösung: 250 nm
  • Tiefenauflösung: 1 µm
  • Temperaturbereich: zwischen Raumtemperatur und 1500 °C
     

Rasterelektronenmikroskop (REM) Tescan Clara

Ein Rasterelektronenmikroskop (REM) dient zur Untersuchung der Mikrostruktur und chemischen Zusammensetzung von Metallen und einer Reihe von organischen und anorganischen Materialien. Ein durch ein elektromagnetisches Linsensystem fein fokussierter Elektronenstrahl wird dabei über die zu untersuchende Probe gerastert, die sich in der Probenkammer im Hochvakuum befindet. Durch die Wechselwirkung des Elektronenstrahls mit der Probe werden verschiedene Signale erzeugt, welche mittels unterschiedlicher Detektoren erfasst werden können. Diese Signale liefern nicht nur Informationen über die Oberflächentopographie, sondern auch über die chemische Zusammensetzung und Mikrostruktur.

 

Technische Daten:

  • FE- REM Tescan CLARA
  • Auflösung: 0.9 nm bei 15 kV, 1.6 nm bei 1 kV
  • Beschleunigungsspannung: 200 V bis 30 kV
  • Detektoren: SE, BSE, InBeam SE, InBeam BSE mit Energiefilterung
  • Beam Deceleration, Plasmacleaner integriert
  • EDX und WDX System von Oxford Instruments

Röntgendiffraktometer

Zur Bestimmung des kristallographischen Aufbaus dünner Schichten, sowie von Pulvern und kristallinen Bulkmaterialien werden Röntgenfeinstrukturuntersuchungen durchgeführt. Für diese Untersuchungen stehen am Department zwei Diffraktometer des Typs Bruker AXS D8 Advance zur Verfügung. Diese Röntgendiffraktometer bestehen aus Strahlungsquelle (Kupferröntgenröhren), Monochromatoren, diversen Blenden und Detektoren. Bei der Messung wird die Probe mit monochromatischem Röntgenlicht bestrahlt und die Beugung dieser Strahlung am Kristallgitter detektiert. Beim Durchfahren eines vordefinierten Winkelbereichs wird nach jenen Reflexionswinkeln gesucht, bei denen sich Intensitätsmaxima ausbilden. Die somit gemessenen Reflexwinkel sind charakteristisch für kristalline Materialien und ermöglichen dadurch unter anderem die Bestimmung der Phasenzusammensetzung von festen Proben. Die am Department verwendeten Detektoren erlauben es zusätzlich die Energie der gemessenen Strahlung einzustellen, was zu einem sehr guten Signal/Rausch-Verhältnis führt. Dies gilt besonders für Stahlproben, welche unter Kupferröntgenstrahlung stark fluoreszieren. Desweitern ermöglicht eine Eulerwiege durch das Kippen der Probe sowohl den Eigenspannungszustand, als auch die Textur des untersuchten Materials genau zu bestimmen. Eine Hochtemperaturkammer der Marke Anton Paar 1200 N gestattet es außerdem, Proben bis 1200 °C aufzuheizen und unter Vakuum, Luft oder oxidierender Atmosphäre Phasenumwandlungen oder chemische Reaktionen zu erforschen.

 

Technische Daten:

  • Messgeometrie: Bragg-Brentano, Parallelstrahl, streifender Einfall, Transmission, Reflexion
  • Strahlung: Kupfer K-alpha, Linien- und Punktfokus
  • Detektoren: Szintillationszähler, energieauflösende Detektoren (0D und 1D-Modus)
  • Probenhalter: Neunfachprobenwechsler, Eulerwiege, Kapillarhalter und Hochtemperaturkammer (bis 1200 °C)
  • Atmosphäre: Vakuum, Luft und oxidierend
  • Software: ICDD pdf-Datenbank 2018 und EVA (Phasenanalyse), TOPAS (quantitative Bestimmung der Phasenanteile, Rietveld), TEXTURE (Texturmessung), LEPTOS (Spannungsberechnung)

Mikroskopie - Schadensanalytik

Zur Klärung von Schadensfällen kommen in erster Linie lichtoptische Systeme und Einrichtungen zum Einsatz. Stereomikroskope für die makroskopische und Auflichtmikroskope für mikroskopische Beurteilung, stehen auch den Studenten bei der Lösung von Schadensfällen - im Rahmen der Übungen zu Schadensanalytik - zur Verfügung. Alle Mikroskope sind mit Tiefenschärfenkorrektur ausgerüstet.

Olympus Stereo SZH10

Reichert Univar